殘余應力分析儀不僅可以克服應變片處的溫差影響，更可克服應變儀處的溫差影響，也可適用于溫差較大、氣溫極為惡劣的環境，采用單色液晶屏及 人性化機殼，使用起來直觀、方便，采用下拉式菜單界面，各選項及工件材料參數的輸入或查詢極為方便。使射線作用在膠片上，然后測量底片上衍射點的黑度來獲得衍射線的強度數據，殘余應力分析儀根據實驗裝置和條件的差別，通常采用平板底片。晶體只在選定的角度范圍內來回擺動。這樣可以避免同一層線上衍射點的重疊。但要攝取多套回擺圖，才能收集完整的衍射數據。回擺照相法若配上計算機，自動測量衍射點強度和指標化，則有相當的性。目前廣泛用于蛋白質的結構分析，與四圓衍射儀比較，可節省衍射實驗的時間。

 

    當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子。殘余應力分析儀的能量是特征的，與入射輻射的能量無關，當較外層的電子躍入內層空穴所釋放的能量不在原子內被吸收，而是以輻射形式放出，便產生X射線熒光，其能量等于兩能級之間的能量差。可為支架結構設計、施工及原巖應力推算提供基礎資料。采場頂板的位移量，特別是位移速度，是頂板冒落的重要依據，當位移值及位移速度超過預置臨界值時，應發出警報。